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夏芯国际半导体实验室工程师熊和卫,在一旁听了周瑜解释之后,也是点头说道:“是这个道理。”
然后,他就转过头对一旁合作企业的那位工程师说道:“您也听清楚了,标准之上还有工艺问题,”
原本还有些盛气凌人的那位上了年纪的工程师,在听到周瑜的这番解释后,也是目露思索。
倒是这位工程师身旁的中年人有些气愤未消。
“说问题谁都会说,你能解决问题吗?这个项目已经耗了我们几百万的资金,还不算其他投入,你说的出问题,能解决吗?
我们找夏芯科技,就是想着支持大夏半导体,结果花了几百万,什么都没有!”
得,周瑜听这中年人这么一说,就知道对方是把自己当夏芯国际的人了。
这时候夏芯国际芯片部门的技术总裁李立珉,却是站了出来。
“很抱歉,周董以及各位朋友,让大家看到了一些笑话。”
对西蜀新科众人表示歉意之后,李立珉走到这位中年人面前,表情凝重道:“詹总,咱们这是第一次项目合作,所以在合作中还有一些磨合问题,这方面也有我司的一部分过错。
有问题,咱们可以坐下来慢慢梳理,慢慢谈。”
“慢慢梳理?我们公司的业务这么慢?那些甲方会等我们在这里喝杯茶?这次我陪王工一起,就是要解决这些问题。”
李立珉不着痕迹的瞥了眼周瑜等人,脸色有些难看。
现在公司内部不稳定,有部分工程师很想回家乡工作,外部又要面对台积电的恶意针对以及海外其他半导体企业的竞争。
虽然西蜀新科并非是自家公司的主要客户,更不是真正意义上的重要客户,但是这种事情要是传出去,对自家公司的影响根本就不是钱可以简单估量的。
不过,为了维护好合作客户,李立珉还是勉强笑道:“半导体工艺是高精尖技术,咱们再急,晶圆生长也需要时间,没有好的设计方案,流片出来的芯片不符合标准,不仅浪费时间,还浪费贵司与我方的资源投入。
做科研,咱们还是要用技术来慢慢探索。”
周瑜打量了几眼,看着这两方高管层的脸色,心下了然。
如果不赶紧处理这个问题,自家公司的芯片设计方案恐怕还要被耽搁。
“老李,走,我们去看看。”
周瑜点了一下李贤审,然后走到夏芯国际的工程师身旁。
瞥了眼桌面上的文件,周瑜开门见山道:“小于100nm工艺下,一个导电层线宽的关键尺寸波动取决于四个不同的因素:离焦、掩膜误差、晶圆平面的曝光和厚度方向的拓扑结构。
dfm模型必须包括所有产生波动的来源以及它们之间的相互作用。
类似于典型的工艺和器件模型,需要采用特殊的测试设计或测试结构来构建测试框架。然后,利用在测试框架上测量得到的数据产生dfm中的数学模型。
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